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中国标准连续出版物号 ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
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图像测量显微镜数控二维载物台的设计

作者:苏进,夏豪杰,敖银辉 日期:2019-09-26/span> 浏览:133 查看PDF文档

                                                                     图像测量显微镜数控二维载物台的设计*
                                                                            苏进1,2,夏豪杰3*,敖银辉1
(1.广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006;2.广东三水合肥工业大学研究院,广东 佛山 528100;3.合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥 230009)



摘要:针对数字显微镜大幅面图像拼接中图像扫描的问题,设计了用于显微镜图像拼接的数控二维载物台机械结构与控制系统。通过采用二维堆叠式共面结构减少了阿贝误差,提高了系统集成度,同时结合有限元分析方法,对机械结构进行了分析;基于单片机设计了基于高精度光栅尺反馈与PID精密运动控制结合的二维数控平台的闭环位移控制系统,实现了二维移动平台X/Y方向的运动控制;采用双频激光干涉仪对所设计的数控二维载物台进行了标定,建立了运动控制误差补偿模型,提高了系统运动精度。研究结果表明:该结构在10 kg负载下形变为0.229 5 μm;经补偿后,在100 mm×100 mm的行程范围内重复定位精度小于±5 μm。

关键词:显微镜 ; 二维平台;运动控制;误差补偿

中图分类号:TH742;TH39;TN16                        文献标志码:A                    文章编号:1001-4551(2019)09-0944-05




本文引用格式:
苏进,夏豪杰,敖银辉.图像测量显微镜数控二维载物台的设计[J].机电工程,2019,36(9):944-948.
SU Jin,XIA Haojie,AO Yinhui. Twodimensional numerical control system of stage for image measuring microscope[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(9):944-948.
《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn



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