图像测量显微镜数控二维载物台的设计

作者：苏进，夏豪杰，敖银辉 日期：2019-09-26/span> 浏览：2494 查看PDF文档

                                                                     图像测量显微镜数控二维载物台的设计*
                                                                            苏进1,2，夏豪杰3*，敖银辉1
（1.广东工业大学 机电工程学院，广东 广州 510006；2.广东三水合肥工业大学研究院，广东 佛山 528100；3.合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥 230009）

摘要：针对数字显微镜大幅面图像拼接中图像扫描的问题，设计了用于显微镜图像拼接的数控二维载物台机械结构与控制系统。通过采用二维堆叠式共面结构减少了阿贝误差，提高了系统集成度，同时结合有限元分析方法，对机械结构进行了分析；基于单片机设计了基于高精度光栅尺反馈与PID精密运动控制结合的二维数控平台的闭环位移控制系统，实现了二维移动平台X/Y方向的运动控制；采用双频激光干涉仪对所设计的数控二维载物台进行了标定，建立了运动控制误差补偿模型，提高了系统运动精度。研究结果表明：该结构在10 kg负载下形变为0.229 5 μm；经补偿后，在100 mm×100 mm的行程范围内重复定位精度小于±5 μm。

关键词：显微镜 ； 二维平台；运动控制；误差补偿

中图分类号：TH742；TH39；TN16                        文献标志码：A                    文章编号：1001-4551(2019)09-0944-05

本文引用格式：
苏进，夏豪杰，敖银辉.图像测量显微镜数控二维载物台的设计［J］.机电工程，2019，36(9)：944-948.
SU Jin，XIA Haojie,AO Yinhui. Twodimensional numerical control system of stage for image measuring microscope［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(9):944-948.
《机电工程》杂志：http://www.meem.com.cn