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中国标准连续出版物号 ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
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线结构光传感器的静态性能测试研究

作者:李昱坤,石照耀,于渤,等 日期:2019-09-26/span> 浏览:127 查看PDF文档

                                                                   线结构光传感器的静态性能测试研究*
                                                                   李昱坤,石照耀*,于渤,王涛,李学哲
                                         (北京工业大学 北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心,北京 100124)




摘要:针对线结构光传感器各项静态性能参数对其测量精度影响的问题,设计了一套线结构光传感器静态性能测试方案。在高精度移动平台上使用二级量块、纳米定位台和激光干涉仪,对传感器的重要静态性能参数,如稳定性、重复性和线性度进行了分析,量化了各项静态性能参数对传感器测量精度的影响;以二级量块的工作面作为传感器测试试验的测量表面,结合高精度移动平台实现了传感器全测量区域的测试;使用激光干涉仪对移动平台的定位误差进行了补偿,提高了测量结果的可信度。研究结果表明:传感器需1 h的时间进行稳定来保证测量精度,其测量区域的中部重复性最佳,该区域重复性均值为0.418 μm;传感器线性度对其测量精度影响最大,由传感器非线性引起的误差最大为11.2 μm。

关键词:线结构光传感器;静态性能;稳定性;重复性;线性度

中图分类号:TH741.1+2;TP212                       文献标志码:A                   文章编号:1001-4551(2019)09-0925-06





本文引用格式:
李昱坤,石照耀,于渤,等.线结构光传感器的静态性能测试研究[J].机电工程,2019,36(9):925-930.
LI Yukun, SHI Zhaoyao, YU Bo, et al. Static performance test of line structured light sensors[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(9):925-930.
《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn




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