线结构光传感器的静态性能测试研究

作者：李昱坤，石照耀，于渤，等 日期：2019-09-26/span> 浏览：1623 查看PDF文档

                                                                   线结构光传感器的静态性能测试研究*
                                                                   李昱坤，石照耀*，于渤，王涛，李学哲
                                         (北京工业大学 北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心，北京 100124)

摘要：针对线结构光传感器各项静态性能参数对其测量精度影响的问题，设计了一套线结构光传感器静态性能测试方案。在高精度移动平台上使用二级量块、纳米定位台和激光干涉仪，对传感器的重要静态性能参数，如稳定性、重复性和线性度进行了分析，量化了各项静态性能参数对传感器测量精度的影响；以二级量块的工作面作为传感器测试试验的测量表面，结合高精度移动平台实现了传感器全测量区域的测试；使用激光干涉仪对移动平台的定位误差进行了补偿，提高了测量结果的可信度。研究结果表明：传感器需1 h的时间进行稳定来保证测量精度，其测量区域的中部重复性最佳，该区域重复性均值为0.418 μm；传感器线性度对其测量精度影响最大，由传感器非线性引起的误差最大为11.2 μm。

关键词：线结构光传感器；静态性能；稳定性；重复性；线性度

中图分类号：TH741.1+2；TP212                       文献标志码：A                   文章编号：1001-4551(2019)09-0925-06

本文引用格式：
李昱坤，石照耀，于渤,等.线结构光传感器的静态性能测试研究［J］.机电工程，2019，36(9)：925-930.
LI Yukun, SHI Zhaoyao, YU Bo, et al. Static performance test of line structured light sensors［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(9):925-930.
《机电工程》杂志：http://www.meem.com.cn