基于最小二乘法的光栅干涉传感细 分误差校正研究*

作者：束名扬，陈健 日期：2019-04-26/span> 浏览：1814 查看PDF文档

                                                       基于最小二乘法的光栅干涉传感细分误差校正研究*
                                                                                  束名扬，陈健
                                                  (中国电子科技集团公司 第五十五研究所，江苏 南京211100)

摘要：针对纳米级分辨率光栅干涉传感中存在的细分误差问题，对光栅干涉传感的细分原理、传感信号中的噪声以及非线性误差等方面进行了研究。采用数字细分方式，对传感光电信号进行了数字滤波处理以降低噪声信号干扰，对传感信号中存在幅值波动、直流电平漂移以及相位非正交性等缺陷建立了非线性误差模型，并基于最小二乘原理提出了一种非线性误差修正方法；利用纳米二维定位平台对光栅干涉传感系统进行了测试。研究结果表明：在50 nm步距以及200 nm步距两组等位移量连续测量的测量列中，非线性误差修正后测量列的标准差较修正前均有显著的降低，说明光栅干涉传感信号经非线性误差修正处理后可以较明显地校正细分误差，提高细分精度。

关键词：光栅；干涉传感；数字细分；误差修正

中图分类号：TH822；TP741                       文献标志码：A                     文章编号：1001-4551(2019)04-0374-05

本文引用格式：
束名扬，陈健.基于最小二乘法的光栅干涉传感细分误差校正研究［J］.机电工程，2019，36(4)：374-377,382.
SHU Mingyang，CHEN Jian. Error compensation of subdivision in grating interferometry based on the least square method［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(4):374-377,382.
《机电工程》杂志：http://www.meem.com.cn