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中国标准连续出版物号 ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
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基于二维光学相干层析的多层薄膜 结构无损定量评价

作者:陈丹阳1,童俊海2,钟舜聪2,3*,张秋坤2,林杰文2,伏喜斌4 日期:2017-10-16/span> 浏览:303 查看PDF文档


基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价
陈丹阳1,童俊海2,钟舜聪2,3*,张秋坤2,林杰文2,伏喜斌4
(1.漳州职业技术学院 电子工程系,福建 漳州 363000;
2.福州大学 机械工程及自动化学院光学/太赫兹及无损检测实验室,福建 福州 350108;
3.福建省医疗器械和生物技术重点实验室,福建 福州 350000;4.厦门市特种设备检验检测院,福建 厦门 361000)




摘要:为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomography, OCT)系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉法,具体由压电驱动器驱动参考镜实现,做到了对OCT共轭镜像的去除,避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比,可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度(钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2)进行准确测量。实验结果表明:自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量,可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。

关键词:干涉条纹;光学相干层析;多层薄膜结构;厚度测量

中图分类号:TH74               文献标志码:A                   文章编号:1001-4551(2017)08-0847-04





本文引用格式:
陈丹阳,童俊海,钟舜聪,等.基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价[J].机电工程,2017,34(8):847-850.
CHEN Dan yang, TONG Jun hai, ZHONG Shun cong, et al. Quantitative nondestructive evaluation of multilayer thin films based on two dimensional optical coherence tomography[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2017,34(8):847-850.
《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn



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