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超光滑表面加工技术研究进展*

作者：文东辉,周海锋,徐钉,朴钟宇日期：2015-07-08/span> 浏览：4759 查看PDF文档

超光滑表面加工技术研究进展*

文东辉,周海锋,徐钉,朴钟宇

(浙江工业大学机械工程学院,浙江杭州 310014)

摘要：针对如何高效稳定地获得粗糙度值小、少无亚表面损伤、低成本的超光滑表面的问题,分析了原子级超光滑表面加工技术的加工原理,详细阐述了几类非接触式抛光方法的加工原理及国内外最新研究进展,并着重论述了声悬浮抛光和磨料水射流抛光的研究现状。接着,在此基础上对这几类加工方法各方面的优缺点进行了对比总结。最后,针对目前超光滑表面加工技术存在的不足,指出了超光滑表面加工技术有待进一步研究的方向。研究结果表明，采用非接触式的抛光方法,对加工过程加以合理的控制,可大大降低工件表面粗糙度,改善亚表面的损伤情况;目前非接触式抛光普遍对抛光设备精度要求较高,减少加工成本是超光滑表面加工技术进行大规模推广的迫切要求。

关键词：研究进展;超光滑表面;非接触式抛光;表面粗糙度;亚表面损伤

中图分类号：TH16;TG356.28

文献标志码：A文章编号：1001-4551(2015)05-0579-06

本文引用格式：

文东辉,周海锋,徐钉,等.超光滑表面加工技术研究进展［J］.机电工程，2015,32(5)：579-584.

WEN Donghui, ZHOU Haifeng, XV Ding, et al. Research progress in ultrasmooth surfaces polishing technology［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2015,32(5):579-584.

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