长光栅传感器动态特性试验台的设计*

作者：王 敏， 王笑一 日期：2013-08-13/span> 浏览：2988 查看PDF文档

长光栅传感器动态特性试验台的设计*

王  敏， 王笑一
（北京工业大学 机械工程与应用电子技术学院， 北京 100124）

摘要： 针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题，采用比对测量原理，以激光干涉仪为基准，提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试验方案，通过实验法研究了速度与加速度对长光栅测量精度的影响； 基于精密气浮导轨、激光干涉仪和数控技术，研制出了长光栅动态特性试验系统。该试验台采用卧式结构，主要由机械系统、伺服系统、数据采集处理系统和软件系统组成，具有精度检测、动态性能测试和寿命试验的功能。精度分析结果表明：该试验系统的综合不确定度为0.124 μm，即满足试验台对精度为0.5 μm的光栅进行检测的精度要求。
关键词： 光栅传感器； 动态特性； 试验系统； 气浮导轨
中图分类号： TH74； TP212.1； TH39              文献标识码： A    文章编号： 1001-4551（2013）05-0549-03

本文的文献著录格式：

王  敏， 王笑一.光栅传感器动态特性试验台的设计[J].机电工程,2013,30(5):549-551,561.
Xiao i.esign of dynamic performance detector system for linear grating sensor[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2013,30(5):549-551,561.