《机电工程》杂志,月刊( 详细... )

中国标准连续出版物号 ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
主办单位浙江省机电集团有限公司
浙江大学
主编陈 晓
副 主 编唐任仲、罗向阳(执行主编)
总 经 理罗向阳
出 版浙江《机电工程》杂志社有限公司
地 址杭州市上城区延安路95号浙江省机电集团大楼二楼211、212室
电话Tel+86-571-87041360、87239525
E-mailmeem_contribute@163.com
国外发行中国国际图书贸易总公司
订阅全国各地邮局   国外代号M3135
国内发行浙江省报刊发行局
邮发代号32-68
广告发布登记证:杭上市管广发G-001号

在线杂志

当前位置: 机电工程 >>在线杂志

光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响*

作者:赵金余,陈晖,傅新* 日期:2011-08-01/span> 浏览:3330 查看PDF文档

光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响*
赵金余,陈晖,傅新*
(浙江大学 流体传动与控制国家重点实验室,浙江 杭州 310027)

摘要:不同的浸没单元结构会影响缝隙流场的流动状态,为了研究浸没单元结构参数对缝隙流场流动的影响规律,通过计算流体动力学(CFD)仿真,对浸没流场的流动进行了数值模拟,开展了不同的浸没单元的注液口形状和流场高度所形成的缝隙流场的流动状态分析。研究结果表明:90°~150°的注液口和0.7 mm~1 mm的缝隙高度为理想的结构参数。
关键词:浸没式光刻;浸没单元;缝隙流场;流动仿真;计算流体动力学
中图分类号:TH137文献标志码:A文章编号:1001-4551(2011)05-0545-03

 

本文的文献著录格式:

赵金余,陈晖,傅新.光刻机浸没单元结构参数对流动状态的影响[J],机电工程,2011,28(5):545-547,604.
ZHAO Jinyu, CHEN Hui, FU Xin.Impact on fluid flow state by different structural parameters of immersion lithography unit[J],Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2011,28(5):545-547,604.

 

 



友情链接

浙江机械信息网